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●マイクロ取り付け位置（X・Yステージ）: 逆サイド
●移動方向: X・Y・Z・回転4方向
●ステージ面: φ90mm
●使用マイクロ: XY軸 CMH-15F Z軸 CMH-13F 回転 CEH-13R
●移動量: XY軸±7.5mm、Z軸0～10mm 回転 粗動360°微動±5°
●移動ガイド: XY軸 V溝とクロスローラ Z軸 V溝レールと鋼球
●移動精度: 真直度 XY軸0.003mm 真直度 Z軸 0.008mm 心円度 回転 0.04mm 面振れ 回転 0.02mm
●目量: XYZ軸 マイクロメータ式 0.01mm 回転 バーニヤ読み 5インチ
●耐荷重: 29.4N（3kgf）
●質量: 1.75kg（アルミ合金）
●スリムステージ使用の小型のX・Y・Z・回転ステー

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